冷熱復(fù)合盤

UTX晶圓矩陣加熱盤系列是一種專為半導(dǎo)體行業(yè)及精密制造領(lǐng)域設(shè)計(jì)的高效電加熱設(shè)備，特別用于晶圓加工、熱處理、涂布和退火等工藝。該系列加熱盤采用創(chuàng)新的晶圓矩陣布局設(shè)計(jì)，能夠?qū)崿F(xiàn)對(duì)多個(gè)晶圓的同時(shí)均勻加熱，確保高效、精確的溫控，滿足半導(dǎo)體生產(chǎn)過程中對(duì)溫度穩(wěn)定性和均勻性的嚴(yán)格要求。
UTX晶圓矩陣加熱盤系列憑借其創(chuàng)新的矩陣布局設(shè)計(jì)、精確的溫控系統(tǒng)以及高效的加熱與節(jié)能性能，成為半導(dǎo)體制造、光伏材料加工、電子器件生產(chǎn)等高精度行業(yè)中不可或缺的設(shè)備。通過提供均勻穩(wěn)定的加熱環(huán)境，該系列設(shè)備確保了產(chǎn)品的一致性和高質(zhì)量，同時(shí)提升了生產(chǎn)效率和節(jié)能效果，是先進(jìn)制造工藝中必備的高性能加熱方案。